Equilibrium calculations for plasmas of volatile halides of III, IV and VI group elements mixed with H2 and H2 + CX4 (X = H, Cl, F) relevant to PECVD of isotopic materials
- The composition of hydrogen and hydrogen-methane plasmas containing ~10% of BX₃, SiX₄, GeX₄ (X = F, Cl), SF₆, MoF₆ and WF₆ is calculated for the temperature range ~300-4000 K using the equilibrium chemical model. The calculations provide valuable information about thermodynamic parameters (pressure, temperature) needed for condensation of pure elements (in H₂ plasma) and their carbides (in H₂ + CH₄ plasma) and about intermediate reaction products. Using volatile fluorides for plasma chemical deposition alleviates obtaining monoisotopic elements and their isotopic compounds because fluorine is monoisotopic. PECVD is promising method for one-step conversion of fluorides to elemental isotopes and their carbides. For fluorides, further insight is needed into properties of plasmas supported by different types of discharges.
Autor*innen: | Igor B. GornushkinORCiD, P. G. Sennikov, R. A. Kornev, V. S. Polyakov |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of radioanalytical and nuclear chemistry |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2020 |
Organisationseinheit der BAM: | 1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien |
1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien / 1.9 Chemische und optische Sensorik | |
Verlag: | Springer |
Verlagsort: | Dordrecht |
Jahrgang/Band: | 326 |
Ausgabe/Heft: | 1 |
Erste Seite: | 407 |
Letzte Seite: | 421 |
Freie Schlagwörter: | Modeling chemical reactions; Plasma chemistry; Plasma enhanced chemical vapor deposition; Reduction of volatile chlorides and fluorides by hydrogen |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
DOI: | 10.1007/s10967-020-07295-2 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 07.09.2020 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 10.09.2020 |