Surface analysis - Auger electron spectroscopy
- Basic principles and technical realization of Auger Electron Spectroscopy (AES) are presented. Different modes of application are briefly addressed. These are spectroscopy at nanoscaled surface layers including quantitative element analysis and chemical state analysis, in-depth element analysis, imaging and element mapping. A survey on standards related to application of AES in surface chemical analysis is given.
Autor*innen: | Wolfgang UngerORCiD |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Reference module in chemistry, molecular sciences and chemical engineering |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2013 |
Verlag: | Elsevier Inc. |
Erste Seite: | 466 |
Letzte Seite: | 475 |
Freie Schlagwörter: | AES; Auger electron spectroscopy; Chemical state analysis; Depth profiling; Element analysis; Imaging; Surface analysis; Surface chemical analysis |
DOI: | 10.1016/B978-0-12-409547-2.00516-3 |
URL: | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/B9780124095472005163 |
ISBN: | 978-0-12-409547-2 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 20.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |