Bohrer für den Nanometerbereich - Mikrobearbeitung und Gefügedarstellung mit der Technik des fokussierten Ionenstrahls (FIB)
Autor*innen: | Werner ÖsterleORCiD |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Eigenverlag BAM |
Sprache: | Deutsch |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Materialprüfung = Materials testing |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2004 |
Herausgeber (Institution): | Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung |
Verlag: | Carl Hanser Verlag |
Verlagsort: | München |
Jahrgang/Band: | 46 |
Ausgabe/Heft: | 3 |
Erste Seite: | 113 |
Letzte Seite: | 117 |
Freie Schlagwörter: | FIB; Mikrobearbeitung; Nanotechnologie; TEM |
DOI: | 10.3139/120.100573 |
ISSN: | 0025-5300 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
Bibliotheksstandort: | ZM 3 |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 29.04.2004 |