RTA-treated ohmic contacts to GaAs containing WSiN barriers
Autor*innen: | U. Merkel, E. Nebauer, Werner ÖsterleORCiD, J. Würfl |
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Persönliche Herausgeber*innen: | S. R. J. Brueck |
Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Tagungsband |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Rapid thermal and integrated processing IV |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 1995 |
Verlag: | Materials Research Soc. |
Verlagsort: | Pittsburgh, Pa. |
Ausgabe/Heft: | 387 |
Erste Seite: | 431 |
Letzte Seite: | 436 |
Veranstaltung: | MRS Spring Meeting on Rapid Thermal and Integrated Processing |
Veranstaltungsort: | San Francisco, CA, USA |
Beginndatum der Veranstaltung: | 1995-04-17 |
Enddatum der Veranstaltung: | 1995-04-20 |
ISSN: | 0272-9172 |
ISBN: | 1-558-99290-1 |
Bemerkung: | Serientitel: Materials Research Society symposium proceedings – Series title: Materials Research Society symposium proceedings |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |