BAM-L002 - A new type of certified reference material for length calibration and testing of lateral resolution in the nanometre range
- A new type of test sample for the determination of lateral resolution in surface analysis is presented. The certified reference material BAM-L002 Nanoscale strip pattern for length calibration and testing of lateral resolution is an embedded cross-section of epitaxially grown layers of AlxGa1-xAs and InxGa1-xAs on GaAs substrate. The surface of the sample provides a flat pattern with strip widths of 0.4-500 nm. The combination of gratings, isolated narrow strips and sharp edges of wide strips offers improved possibilities for the calibration of a length scale, the determination of lateral resolution and the optimization of instrument settings. The feasibility of the reference material for an analysis of lateral resolution is demonstrated for SIMS.
Autor*innen: | Mathias Senoner, Thomas Wirth, Wolfgang UngerORCiD, Werner ÖsterleORCiD, I. Kaiander, R.L. Sellin, D. Bimberg |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Surface and interface analysis |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2004 |
Verlag: | Wiley |
Verlagsort: | Chichester |
Jahrgang/Band: | 36 |
Erste Seite: | 1423 |
Letzte Seite: | 1426 |
DOI: | 10.1002/sia.1936 |
ISSN: | 0142-2421 |
ISSN: | 1096-9918 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
Bibliotheksstandort: | ZS 53 |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 24.11.2004 |