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RTA-treated ohmic contacts to GaAs containing WSiN barriers

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Autor*innen:U. Merkel, E. Nebauer, Werner ÖsterleORCiD, J. Würfl
Persönliche Herausgeber*innen:S. R. J. Brueck
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Rapid thermal and integrated processing IV
Jahr der Erstveröffentlichung:1995
Verlag:Materials Research Soc.
Verlagsort:Pittsburgh, Pa.
Ausgabe/Heft:387
Erste Seite:431
Letzte Seite:436
Veranstaltung:MRS Spring Meeting on Rapid Thermal and Integrated Processing
Veranstaltungsort:San Francisco, CA, USA
Beginndatum der Veranstaltung:1995-04-17
Enddatum der Veranstaltung:1995-04-20
ISSN:0272-9172
ISBN:1-558-99290-1
Bemerkung:
Serientitel: Materials Research Society symposium proceedings – Series title: Materials Research Society symposium proceedings
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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