MetadatenAutor*innen: | M.P. Seah, S.J. Spencer, F. Bensebaa, I. Vickridge, H. Danzebrink, M. Krumrey, Thomas Gross, Werner ÖsterleORCiD, E. Wendler, B. Rheinländer, Y. Azuma, I. Kojima, N. Suzuki, M. Suzuki, S. Tanuma, D.W. Moon, H.J. Lee, H.M. Cho, H.Y. Chen, A. T. S. Wee, T. Osipowicz, J.S. Pan, W.A. Jordaan, R. Hauert, U. Klotz, C. van der Marel, M. Verheijen, Y. Tamminga, C. Jeynes, P. Bailey, S. Biswas, U. Falke, N.V. Nguyen, D. Chandler-Horowitz, J.R. Ehrstein, D. Muller, J.A. Dura |
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Dokumenttyp: | Forschungsbericht |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | NPL Report COAM S 14 |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2003 |
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Herausgeber (Institution): | National Physical Laboratory, Teddington, Middlesex, UK |
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Erste Seite: | 57 pages |
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Freie Schlagwörter: | Ellipsometry; SiO2; TEM; Thickness; Thin films; XPS |
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ISSN: | 1473-2734 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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