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BAM-L002 - A new type of certified reference material for length calibration and testing of lateral resolution in the nanometre range

  • A new type of test sample for the determination of lateral resolution in surface analysis is presented. The certified reference material BAM-L002 Nanoscale strip pattern for length calibration and testing of lateral resolution is an embedded cross-section of epitaxially grown layers of AlxGa1-xAs and InxGa1-xAs on GaAs substrate. The surface of the sample provides a flat pattern with strip widths of 0.4-500 nm. The combination of gratings, isolated narrow strips and sharp edges of wide strips offers improved possibilities for the calibration of a length scale, the determination of lateral resolution and the optimization of instrument settings. The feasibility of the reference material for an analysis of lateral resolution is demonstrated for SIMS.

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Autor*innen:Mathias Senoner, Thomas Wirth, Wolfgang UngerORCiD, Werner ÖsterleORCiD, I. Kaiander, R.L. Sellin, D. Bimberg
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Surface and interface analysis
Jahr der Erstveröffentlichung:2004
Verlag:Wiley
Verlagsort:Chichester
Jahrgang/Band:36
Erste Seite:1423
Letzte Seite:1426
DOI:10.1002/sia.1936
ISSN:0142-2421
ISSN:1096-9918
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:ZS 53
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:24.11.2004
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