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Characterization of Pd-Ni-Co alloy thin films by ED-EPMA with application of the STRATAGEM software

  • Ternary thin film alloys based on Pd, Ni and Co on silicon wafers have been characterized in order to determine elemental composition and thickness. A broad variety of alloy compositions was obtained on one and the same substrate by magnetron dc-co-sputter deposition. Energy-dispersive electron probe X-ray microanalysis of these 'multi' alloy composition samples is performed in a non-destructive, precise and, if optimized, also in a time-saving way. The local thickness of the layers under study was in between 50 nm and 250 nm. Pure element bulk materials have been employed as reference specimens. The results attained in this study are compared to those obtained by other analytical methods as Auger electron spectroscopy and X-ray photo electron spectroscopy.

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Metadaten
Autor*innen:Julius Kühn, Vasile-Dan HodoroabaORCiD, S. Linke, W. Moritz, Wolfgang UngerORCiD
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Surface and interface analysis
Jahr der Erstveröffentlichung:2012
Verlag:Wiley
Verlagsort:Chichester
Jahrgang/Band:44
Ausgabe/Heft:11-12
Erste Seite:1456
Letzte Seite:1458
Freie Schlagwörter:ED-EPMA; Elemental composition; Film thickness; K-values; Quantification; STRATAGEM; Ternary alloys
DOI:10.1002/sia.4974
ISSN:0142-2421
ISSN:1096-9918
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:06.12.2012
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