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Thin layers deposited with plasma sputtering and e-beam evaporation as reference samples for thickness determination by spectroscopic ellipsometry

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Metadaten
Autor*innen:Dana Maria Rosu
Koautor*innen:Andreas Hertwig, Uwe Beck
Dokumenttyp:Posterpräsentation
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):14th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE)
Jahr der Erstveröffentlichung:2014
Veranstaltung:14th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE)
Veranstaltungsort:Garmisch-Partenkirchen, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2014-09-15
Enddatum der Veranstaltung:2014-09-19
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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