Thin layers deposited with plasma sputtering and e-beam evaporation as reference samples for thickness determination by spectroscopic ellipsometry
MetadatenAutor*innen: | Dana Maria Rosu |
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Koautor*innen: | Andreas Hertwig, Uwe Beck |
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Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
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Veröffentlichungsform: | Präsentation |
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Sprache: | Deutsch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | 14th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE) |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2014 |
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Veranstaltung: | 14th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE) |
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Veranstaltungsort: | Garmisch-Partenkirchen, Germany |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 2014-09-15 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 2014-09-19 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
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Datum der Freischaltung: | 20.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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