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Pulsed r.f. plasma for polymer film deposition with SEERS diagnostic

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Autor*innen:Rolf-Dieter Schulze, Jörg Florian Friedrich
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Surface and coatings technology
Jahr der Erstveröffentlichung:2002
Verlag:Elsevier Science
Verlagsort:Lausanne
Erste Seite:405
Freie Schlagwörter:C plasma; C pulsed; C radio frequency; D nitrogen; D oxygen; DX plasma deposition
Veranstaltung:8th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE2002)
Veranstaltungsort:Garmisch-Partenkirchen, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2002-09-09
Enddatum der Veranstaltung:2002-09-13
ISSN:0257-8972
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Bibliotheksstandort:ZS 45
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:10.03.2003
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