Realization of thickness standards below 100 nm thickness
Autor*innen: | P. Thomsen-Schmidt |
---|---|
Koautor*innen: | K. Hasche, K. Herrmann, M. Krumrey, G. Ade, J. Stümpel, S. Schädlich, W. Frank, Mathias Procop, Uwe Beck |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Jahrestagung 2002 der Deutschen Vakuumgesellschaft e.V. |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2002 |
Veranstaltung: | Jahrestagung 2002 der Deutschen Vakuumgesellschaft e.V. |
Veranstaltungsort: | Magdeburg, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2002-06-17 |
Enddatum der Veranstaltung: | 2002-06-20 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |