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Realization of thickness standards below 100 nm thickness

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Autor*innen:P. Thomsen-Schmidt
Koautor*innen:K. Hasche, K. Herrmann, M. Krumrey, G. Ade, J. Stümpel, S. Schädlich, W. Frank, Mathias Procop, Uwe Beck
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Jahrestagung 2002 der Deutschen Vakuumgesellschaft e.V.
Jahr der Erstveröffentlichung:2002
Veranstaltung:Jahrestagung 2002 der Deutschen Vakuumgesellschaft e.V.
Veranstaltungsort:Magdeburg, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2002-06-17
Enddatum der Veranstaltung:2002-06-20
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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