A new sub-lithographic strip pattern for the standardised determination of lateral resolution in the nanometer range
MetadatenAutor*innen: | Mathias Senoner |
---|
Koautor*innen: | T. Dziomba, Martin Ritter |
---|
Dokumenttyp: | Posterpräsentation |
---|
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
---|
Sprache: | Englisch |
---|
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | European Standardisation Conference |
---|
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2007 |
---|
Veranstaltung: | European Standardisation Conference |
---|
Veranstaltungsort: | Berlin, Germany |
---|
Beginndatum der Veranstaltung: | 2007-03-26 |
---|
Enddatum der Veranstaltung: | 2007-03-27 |
---|
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
---|
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
---|
Referierte Publikation: | Nein |
---|