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A new sub-lithographic strip pattern for the standardised determination of lateral resolution in the nanometer range

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Metadaten
Autor*innen:Mathias Senoner
Koautor*innen:T. Dziomba, Martin Ritter
Dokumenttyp:Posterpräsentation
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):European Standardisation Conference
Jahr der Erstveröffentlichung:2007
Veranstaltung:European Standardisation Conference
Veranstaltungsort:Berlin, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2007-03-26
Enddatum der Veranstaltung:2007-03-27
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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