Ein Beitrag zu kalibrierten Nanometerschichten für unterschiedliche Anwendungsbereiche
Autor*innen: | Mathias ProcopORCiD |
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Koautor*innen: | Uwe Beck, K. Hasche, K. Herrmann, P. Thomsen-Schmidt, M. Krumrey, G. Ulm, F. Pohlenz, J. Stümpel, I. Busch, S. Schädlich, W. Frank, D. Hirsch, A. Schindler |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Deutsch |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Maschinenbau und Nanotechnik: 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2002 |
Veranstaltung: | Maschinenbau und Nanotechnik: 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau |
Veranstaltungsort: | Ilmenau, Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2002-09-23 |
Enddatum der Veranstaltung: | 2002-09-26 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |