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Imaging method for vibrating scanning force microscopy cantilevers for the analysis of mode shapes and nonlinear harmonic motion

  • A specially designed scanning force microscope (SFM, atomic force microscope – AFM) was incorporated into the chamber of a commercial scanning electron microscope (SEM) to investigate vibrating SFM cantilevers at their resonance. Inherently, the spatial resolution of electron microscopy is higher than that of optical methods. In this paper we present vibration modes (eigenmodes) of two different SFM cantilevers. Their nonlinear behavior is also explored in order to depict their 2nd harmonics (twice the fundamental frequency). Imaging of the local vibration is performed by measuring the frequency- and phase-selective responses of the SE signal at different X and Y positions of the scanned electron beam.

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Autor*innen:Heinz SturmORCiD, Maria-Astrid Schröter, Christiane Weimann
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Microelectronic engineering
Jahr der Erstveröffentlichung:2012
Verlag:Elsevier Science
Verlagsort:Amsterdam, Netherlands
Jahrgang/Band:98
Erste Seite:492
Letzte Seite:496
Freie Schlagwörter:Cantilever; Eigenmode; Electron microscopy; Harmonic; Harmonix cantilever; Motion detection; Nonlinearity; Scanning force microscopy
DOI:10.1016/j.mee.2012.07.088
ISSN:0167-9317
ISSN:1873-5568
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:10.09.2012
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