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Mikrostrukturierung von Glas zur Erzeugung kristalliner Si-Schichten

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Autor*innen:Pascale Rudolph, Jörg KrügerORCiD, Wolfgang Kautek
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Sammelband
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):Laser in der Materialbearbeitung
Jahr der Erstveröffentlichung:2000
Herausgeber (Institution):Technologiezentrum Physikalische Technologien
Verlag:VDI-Verl.
Verlagsort:Düsseldorf
Ausgabe/Heft:12
Erste Seite:7
Letzte Seite:36
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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