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AES Depth profiling of semiconducting multilayer structures using an ion beam bevelling technique

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Autor*innen:Mathias ProcopORCiD, A. Klein, I. Rechenberg, D. Krüger
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Fresenius' journal of analytical chemistry
Jahr der Erstveröffentlichung:1997
Verlag:Springer
Verlagsort:Berlin
Jahrgang/Band:358
Erste Seite:358
Letzte Seite:360
ISSN:0937-0633
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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