AES Depth profiling of semiconducting multilayer structures using an ion beam bevelling technique
Autor*innen: | Mathias ProcopORCiD, A. Klein, I. Rechenberg, D. Krüger |
---|---|
Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Fresenius' journal of analytical chemistry |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 1997 |
Verlag: | Springer |
Verlagsort: | Berlin |
Jahrgang/Band: | 358 |
Erste Seite: | 358 |
Letzte Seite: | 360 |
ISSN: | 0937-0633 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |