MetadatenAutor*innen: | R. Bertram, H. Stephanowitz, Hans-Joachim Heinrich, H.-J. Rost, C. Lüdke, J. Hassler |
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Persönliche Herausgeber*innen: | H. J. Möller, G. Roewer |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Deutsch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2006 |
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Verlag: | Techn. Univ. Bergakad. |
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Verlagsort: | Freiberg |
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Ausgabe/Heft: | 337 |
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Erste Seite: | 122 |
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Letzte Seite: | 138 |
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Freie Schlagwörter: | Chemische Analyse; ETV ICP OES; Einkristall; Elektrothermische Verdampfung; Feststoffanalytik; Feststoffbestimmung; Halbleitereigenschaft; Kristalldefekt; LA-ICP-MS; Laserablation; Leistungselektronik; Nachweisgrenze; SS ET AAS; Siliciumcarbid; Spurenelement |
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Veranstaltung: | Freiberger Siliziumtage 2005 ; Freiberger Forschungsforum ; 56. Berg- und Hüttenmännischer Tag |
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Veranstaltungsort: | Freiberg, Deutschland |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 2005-06-15 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 2005-06-17 |
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ISSN: | 0071-9420 |
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ISBN: | 978-3-86012-295-2 |
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Bemerkung: | Serientitel: Freiberger Forschungshefte / B – Series title: Freiberger Forschungshefte / B |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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