Compositional analysis of polycrystalline hafnium oxide thin films by heavy-ion elastic recoil detection analysis
Autor*innen: | F.L. Martínez, M. Toledano, E. San Andrés, I. Mártil, G. González-Díaz, W. Bohne, J. Röhrich, Erik Strub |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Thin solid films |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2006 |
Verlag: | Elsevier |
Verlagsort: | Amsterdam |
Jahrgang/Band: | 515 |
Ausgabe/Heft: | 2 |
Erste Seite: | 695 |
Letzte Seite: | 699 |
Freie Schlagwörter: | Elastic recoil detection analysis; Hafnium oxide; Interfacial silicon oxide; Oxygen |
ISSN: | 0040-6090 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 19.12.2006 |