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Compositional analysis of polycrystalline hafnium oxide thin films by heavy-ion elastic recoil detection analysis

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Autor*innen:F.L. Martínez, M. Toledano, E. San Andrés, I. Mártil, G. González-Díaz, W. Bohne, J. Röhrich, Erik Strub
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Thin solid films
Jahr der Erstveröffentlichung:2006
Verlag:Elsevier
Verlagsort:Amsterdam
Jahrgang/Band:515
Ausgabe/Heft:2
Erste Seite:695
Letzte Seite:699
Freie Schlagwörter:Elastic recoil detection analysis; Hafnium oxide; Interfacial silicon oxide; Oxygen
ISSN:0040-6090
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:19.12.2006
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