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Moderate temperature sol-gel deposition of magnesium fluoride films for optical UV-applications: A study on homogeneity using spectroscopic ellipsometry

  • Thin films of MgF2 have been deposited on silicon wafers in optical quality with a novel sol-gel deposition process at temperatures as low as 100 °C. The properties of the fluoride layers are compared to bulk MgF2 with respect to the optical constants. By employing spectroscopic mapping ellipsometry, the uniformity of the thickness of fluoride layers is confirmed to be within acceptable limits for optical applications. The optical constants are close to the bulk data. High-quality low-index films of suitable and homogeneous thickness have already been produced on a laboratory scale.

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Autor*innen:Hannes Krüger, E. Kemnitz, Andreas HertwigORCiD, Uwe Beck
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Physica status solidi A
Jahr der Erstveröffentlichung:2008
Verlag:Wiley-VCH
Verlagsort:Berlin
Jahrgang/Band:205
Ausgabe/Heft:4
Erste Seite:821
Letzte Seite:824
Freie Schlagwörter:78.20.-e; 78.66.Li; 78.68.+m; 81.20.Fw
DOI:10.1002/pssa.200777856
ISSN:1862-6300
ISSN:0031-8965
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:10.04.2008
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