MetadatenAutor*innen: | J. Kuhmann, P. Harde, O. Pech, W. Pittroff, A. Preuß, B. Adolphi, Thomas Wirth, Werner ÖsterleORCiD |
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Persönliche Herausgeber*innen: | H. Reichl |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Micro-system technologies '96 |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 1996 |
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Verlag: | VDE-Verl. |
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Verlagsort: | Berlin |
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Jahrgang/Band: | 5 |
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Erste Seite: | 91 |
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Letzte Seite: | 97 |
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Veranstaltung: | 5th International Conference on Micro-Electro-, -Opto-, -Mechanical Systems and Components |
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Veranstaltungsort: | Potsdam, Germany |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 1996-09-17 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 1996-09-19 |
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ISBN: | 3-8007-2200-3 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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