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Accurate determination of film thickness and optical constants with ellipsometry

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Metadaten
Autor*innen:Andreas HertwigORCiD
Koautor*innen:Dana Maria Rosu, Uwe Beck
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):Congrès International de Métrologie
Jahr der Erstveröffentlichung:2013
Veranstaltung:Congrès International de Métrologie
Veranstaltungsort:Paris, France
Beginndatum der Veranstaltung:2013-10-07
Enddatum der Veranstaltung:2013-10-10
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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