A monolithically integrated microfluidic channel in a silicon-based photonic-integrated-circuit technology for biochemical sensing
- In this work, a cost-effective optofluidic system is proposed and preliminary experimental results are presented. A microfluidic channel monolithically integrated into a photonic integrated circuit technology is used in conjunction with a cyclic olefin copolymer (COC) substrate to provide fluidic in- and output ports. We report on initial experimental results as well as on the simple and cost-effective fabrication of this optofluidic system by means of micro-milling.
Autor*innen: | Patrick SteglichORCiD, Martin Paul, C. Mai, A. Böhme, S. Bondarenko, Michael G. WellerORCiD, A. Mai |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Proceedings of SPIE |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2021 |
Organisationseinheit der BAM: | 1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien |
1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien / 1.5 Proteinanalytik | |
Verlag: | SPIE |
Jahrgang/Band: | 11772 |
Erste Seite: | 1 |
Letzte Seite: | 5 |
DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurbau | |
Freie Schlagwörter: | Biochip; Biophotonics; Biosensors; Chip; Lab-on-a-chip; Microfluidics; Optical sensors; Photonic sensors; Ring resonators; Silicon photonics |
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Infrastruktur |
Infrastruktur / Security | |
Umwelt | |
Umwelt / Sensorik | |
DOI: | 10.1117/12.2588791 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 20.10.2021 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 20.10.2021 |