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Testing of Lateral Resolution in the Nanometre Range Using the BAM-L002 - Certified Reference Material: Application to ToF-SIMS IV and NanoESCA Instruments

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Autor*innen:Mathias Senoner, Thomas Wirth, Wolfgang UngerORCiD, M. Escher, N. Weber, D. Funnenmann, B. Krömker
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Journal of surface analysis
Jahr der Erstveröffentlichung:2005
Herausgeber (Institution):Hyomen Bunseki Kenkyukai
Verlagsort:Tsukuba
Jahrgang/Band:12
Ausgabe/Heft:2
Erste Seite:78
Letzte Seite:82
Freie Schlagwörter:ESCA; Nanometrologie; Nanotechnologie; Oberflächenanalytik; SIMS; XPS; Zertifiziertes Referenzmaterial
Veranstaltung:International Symposium on Practical Surface Analysis
Veranstaltungsort:Jeju, Republic of Corea
Beginndatum der Veranstaltung:2004-10-04
Enddatum der Veranstaltung:2004-10-06
ISSN:1341-1756
ISSN:1347-8400
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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