Das Suchergebnis hat sich seit Ihrer Suchanfrage verändert. Eventuell werden Dokumente in anderer Reihenfolge angezeigt.
  • Treffer 4 von 481
Zurück zur Trefferliste

Summary of ISO/TC 201 technical report: ISO/TR 19319:2013 - Surface chemical analysis - Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods

  • This Technical Report revises ISO/TR 19319:2003 - Surface chemical Analysis-Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy-Determination of lateral resolution, analysis area and sample area viewed by the analyser. The revised Technical Report gives a short introduction to basic models of image formation and introduces functions which characterize the performance of imaging instruments with respect to lateral resolution and sharpness. The determination of lateral resolution by imaging of square-wave gratings and the determination of sharpness by imaging of narrow stripes and straight edges are described in detail. Finally, physical factors affecting lateral resolution, analysis area and sample area viewed by the analyser are discussed.

Volltext Dateien herunterladen

  • Senoner_et_al-2013-Surface_and_Interface_Analysis.pdf
    eng

Metadaten exportieren

Weitere Dienste

Teilen auf Twitter Suche bei Google Scholar Anzahl der Zugriffe auf dieses Dokument
Metadaten
Autor*innen:Mathias Senoner, Wolfgang UngerORCiD
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Surface and interface analysis
Jahr der Erstveröffentlichung:2013
Verlag:Wiley
Verlagsort:Chichester
Jahrgang/Band:45
Ausgabe/Heft:9
Erste Seite:1313
Letzte Seite:1316
Freie Schlagwörter:CTF; ESF; LSF; Lateral resolution; MTF; Narrow stripe; Noise; PSF; Resolution criterion; Sharpness; Square-wave grating; Straight edge
DOI:10.1002/sia.5294
ISSN:0142-2421
ISSN:1096-9918
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:20.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:05.09.2013
Einverstanden
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.