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Rastersondenmikroskopie als Werkzeug der Lithographie für Nanostrukturen

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Autor*innen:M. Heyde, Heinz SturmORCiD, Markus Geuss, C. Ritter, K. Rademann
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):Humboldt-Spektrum
Jahr der Erstveröffentlichung:1999
Verlag:Universität <Berlin, Humboldt-Universität>
Verlagsort:Berlin
Jahrgang/Band:6
Ausgabe/Heft:3
Erste Seite:28
Letzte Seite:33
ISSN:0946-641X
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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