• Treffer 5 von 9
Zurück zur Trefferliste

Dynamic Plowing Lithography of Single Holes on Polymethylmethacrylate Using an Atomic Force Microscope

  • Dynamic Plowing Lithography is employed to carve holes in a PMMA surface by indenting the sample during Tapping Mode imaging. The dependence of the dimensions of the holes on the tip shape, on the modulation voltage amplitude, and on the number of contacts between the tip and sample is studied. The results give some insights in the physico-chemical mechanisms accompanying such rapid modifications. Two-dimensional arrays of holes have also been carved, in order to study the result of the superposition of single holes.

Volltext Dateien herunterladen

  • Sturm_Dyn Plow Lith Conf Proc Acta Microscopica.pdf
    eng

Metadaten exportieren

Weitere Dienste

Teilen auf Twitter Suche bei Google Scholar Anzahl der Zugriffe auf dieses Dokument
Metadaten
Autor*innen:Brunero CappellaORCiD, Heinz SturmORCiD
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Acta Microscopica
Jahr der Erstveröffentlichung:2001
Verlag:Hirzel
Verlagsort:Stuttgart, Germany
Jahrgang/Band:10 Suppl. 1
Erste Seite:8
Letzte Seite:15
ISSN:0044-376x
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
Einverstanden
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.