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Dimensional control of micro components with synchrotron computed tomography

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Autor*innen:Karsten Ehrig, M. Bartscher, Jürgen Goebbels, F. Härtig, K. Kniel, M. Neukamm, U. Neuschaefer-Rube, Andreas Staude
Persönliche Herausgeber*innen:M. Denecke, C. Walker
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):20th International congress on X-ray optics and microanalysis (Proceedings)
Jahr der Erstveröffentlichung:2010
Verlag:American Institute of Physics
Erste Seite:164
Letzte Seite:171
Freie Schlagwörter:Computed tomography; Dimensional measurement; Micro components; Synchrotron radiation
Veranstaltung:20th International congress on X-ray optics and microanalysis
Veranstaltungsort:Karlsruhe, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2009-09-14
Enddatum der Veranstaltung:2009-09-18
ISSN:0094-243X
ISBN:978-0-7354-0764-0
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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