MetadatenAutor*innen: | T. Herffurth, S. Schröder, Ö. Tan, S. Apel, Mathias Senoner, Mario Sahre |
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Persönliche Herausgeber*innen: | A. Weckenmann |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Deutsch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Abschlussbericht DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2011 |
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Herausgeber (Institution): | Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |
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Verlag: | Shaker Verlag GmbH |
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Erste Seite: | 219 |
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Letzte Seite: | 231 |
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Freie Schlagwörter: | AFM-Spitzencharakterisierer; Nanotopographie; Rasterkraftmikroskopie; Rauheit; Weißlichtinterferometrie |
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Veranstaltung: | Abschlusskolloquium DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen |
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Veranstaltungsort: | Erlangen, Germany |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 2010-10-06 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 2010-10-07 |
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ISSN: | 0945-0769 |
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ISBN: | 978-3-8440-0358-1 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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