K. Hasche, K. Herrmann, P. Thomsen-Schmidt, M. Krumrey, G. Ulm, G. Ade, F. Pohlenz, J. Stümpel, I. Busch, S. Schädlich, W. Frank, D. Hirsch, A. Schindler, Mathias Procop, Uwe Beck
- Nanotechnologien werden gegenwärtig als leistungsfähige Oberflächentechniken in erheblichem Umfange industriell genutzt. Dabei spielen dünne Schichten und deren Kenndaten eine wesentliche Rolle, z.B. als Röntgenspiegel oder optische und magnetooptische Datenträger. Die Schichtdicke zählt hierbei zu den technologisch wichtigen Parametern. Abgeleitet von Anwenderinteressen, werden für die Röntgenreflektometrie (XRR bzw. GIXR), Elektronenstrahl-Mikroanalyse (EPMA) und Röntgenfluoreszenzanalyse (XRF) einerseits und die Ellipsometrie andererseits zugeschnittene Schichtdickenmaßverkörperungen (SDM) entwickelt, gefertigt und untersucht. Das Ziel ist die Bereitstellung praxistauglicher, kalibrierter SDM, im weiteren Schichtdickennormale (SDN) genannt. SDN sind Maßverkörperungen, für die der Schichtdickenwert mit einer definierten Messunsicherheit bekannt und auf ein metrologisch anerkanntes Längennormal zurückgeführt ist. Berichtet wird über die Herstellung und messtechnische CharakterisierungNanotechnologien werden gegenwärtig als leistungsfähige Oberflächentechniken in erheblichem Umfange industriell genutzt. Dabei spielen dünne Schichten und deren Kenndaten eine wesentliche Rolle, z.B. als Röntgenspiegel oder optische und magnetooptische Datenträger. Die Schichtdicke zählt hierbei zu den technologisch wichtigen Parametern. Abgeleitet von Anwenderinteressen, werden für die Röntgenreflektometrie (XRR bzw. GIXR), Elektronenstrahl-Mikroanalyse (EPMA) und Röntgenfluoreszenzanalyse (XRF) einerseits und die Ellipsometrie andererseits zugeschnittene Schichtdickenmaßverkörperungen (SDM) entwickelt, gefertigt und untersucht. Das Ziel ist die Bereitstellung praxistauglicher, kalibrierter SDM, im weiteren Schichtdickennormale (SDN) genannt. SDN sind Maßverkörperungen, für die der Schichtdickenwert mit einer definierten Messunsicherheit bekannt und auf ein metrologisch anerkanntes Längennormal zurückgeführt ist. Berichtet wird über die Herstellung und messtechnische Charakterisierung der beiden spezifischen Varianten von Maßverkörperungen.…
MetadatenAutor*innen: | K. Hasche, K. Herrmann, P. Thomsen-Schmidt, M. Krumrey, G. Ulm, G. Ade, F. Pohlenz, J. Stümpel, I. Busch, S. Schädlich, W. Frank, D. Hirsch, A. Schindler, Mathias ProcopORCiD, Uwe Beck |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Tagungsband |
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Veröffentlichungsform: | Graue Literatur |
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Sprache: | Deutsch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2002 |
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Herausgeber (Institution): | Gesellschaft für Arbeitswissenschaft |
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Verlag: | Techn. Univ. |
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Verlagsort: | Ilmenau |
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Jahrgang/Band: | 47 |
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Erste Seite: | 568 |
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Letzte Seite: | 569 |
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Veranstaltung: | 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau ; Herbstkonferenz der Gesellschaft für Arbeitswissenschaft ; 6. Workshop Multimedia für Bildung und Wirtschaft |
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Veranstaltungsort: | Ilmenau, Deutschland |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 2002-09-23 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 2002-09-26 |
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URL: | http://publica.fraunhofer.de/documents/N-14872.html |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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