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Über die metrologische Charakterisierung von Schichtdicken Standards im Nanometerbereich

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Autoren/innen:L. Koenders, K. Hasche, G. Ulm, M. Krumrey, G. Ade, J. Stümpel, I. Busch, P. Thomsen-Schmidt, S. Schädlich, A. Schindler, W. Frank, Uwe Beck, Mathias Procop
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):12th Applied Surface Analysis Workshop
Jahr der Erstveröffentlichung:2002
Veranstaltung:12th Applied Surface Analysis Workshop ; AOFA 12
Veranstaltungsort:---
Beginndatum der Veranstaltung:2002-09-15
Enddatum der Veranstaltung:2002-09-19
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein