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About the calibration of thickness standards on the nanometer scale

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Autoren/innen:K. Hasche, G. Ulm, K. Herrmann, M. Krumrey, G. Ade, J. Sümpel, I. Busch, P. Thomsen-Schmidt, S. Schädlich, A. Schindler, W. Frank, Mathias Procop, Uwe Beck
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Sammelband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Proceedings of the 3rd international EUSPEN conference
Jahr der Erstveröffentlichung:2002
Herausgeber (Institution):European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
Verlagsort:Eindhoven
Erste Seite:1
Letzte Seite:5
Veranstaltung:3rd International EUSPEN conference ; 3rd International conference. European Society for Precision Engineering and Nanotechnology ; 4th General meeting. European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
Veranstaltungsort:Eindhoven, The Netherlands
Beginndatum der Veranstaltung:2002-05-26
Enddatum der Veranstaltung:2002-05-30
ISBN:90-386-2883-8
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein