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Eine neue 3D Kalibrierstrategie für Mikro- und Nanomessverfahren

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Autor*innen:Martin Ritter, T. Dziomba, M. Xu, L. Koenders, Axel KranzmannORCiD
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Sammelband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):VDI-Berichte / "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering", Tagung 29.- 30.11.2006
Jahr der Erstveröffentlichung:2006
Herausgeber (Institution):VDI
Ausgabe/Heft:1950
Erste Seite:15
Letzte Seite:24
Freie Schlagwörter:3D Kalibrierung; Nanomarker; Rastermikroskopie
Veranstaltung:Tagung "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering"
Veranstaltungsort:Erlangen, Deutschland
Beginndatum der Veranstaltung:29.11.2006
Enddatum der Veranstaltung:30.11.2006
ISBN:3-18-091950-7
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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