Dielectric reference coatings for the evaluation of thin film characterization techniques
MetadatenAutor*innen: | Uwe Beck, Georg Reiners |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Thin solid films |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 1995 |
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Verlag: | Elsevier |
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Verlagsort: | Amsterdam |
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Jahrgang/Band: | 270 |
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Erste Seite: | 85 |
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Letzte Seite: | 90 |
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Freie Schlagwörter: | Depth profiling; Ellipsometry; Silicon nitride; Silicon oxide |
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DOI: | 10.1016/0040-6090(95)06840-6 |
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ISSN: | 0040-6090 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Ja |
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Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 21.02.2005 |
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