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Erfahrungen mit STRATAGEM bei der Bestimmung von Metallschichtdicken im Nanometerbereich

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Metadaten
Autor*innen:Mathias ProcopORCiD
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):SAMx-Anwender-Treffen
Jahr der Erstveröffentlichung:2001
Veranstaltung:SAMx-Anwender-Treffen
Veranstaltungsort:Halle (Saale), Germany
Beginndatum der Veranstaltung:2001-07-02
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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