Erfahrungen mit STRATAGEM bei der Bestimmung von Metallschichtdicken im Nanometerbereich
Autor*innen: | Mathias ProcopORCiD |
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Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Deutsch |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | SAMx-Anwender-Treffen |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2001 |
Veranstaltung: | SAMx-Anwender-Treffen |
Veranstaltungsort: | Halle (Saale), Germany |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2001-07-02 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |