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Film thickness standards for X-ray techniques and ellipsometry

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Autor*innen:Mathias ProcopORCiD
Koautor*innen:Uwe Beck, D. Hirsch, W. Frank, A. Schindler, S. Schädlich, I. Busch, P. Thomsen-Schmidt, J. Stümpel, G. Ade, M. Krumrey, L. Koenders, G. Ulm, K. Hasche
Dokumenttyp:Vortrag
Veröffentlichungsform:Präsentation
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Workshop Metrology
Jahr der Erstveröffentlichung:2002
Veranstaltung:Workshop Metrology
Veranstaltungsort:Plzen, Czech Republic
Beginndatum der Veranstaltung:2002-10-20
Enddatum der Veranstaltung:2002-10-24
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
Eingeladener Vortrag:Nein
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