Film thickness standards for X-ray techniques and ellipsometry
Autor*innen: | Mathias ProcopORCiD |
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Koautor*innen: | Uwe Beck, D. Hirsch, W. Frank, A. Schindler, S. Schädlich, I. Busch, P. Thomsen-Schmidt, J. Stümpel, G. Ade, M. Krumrey, L. Koenders, G. Ulm, K. Hasche |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Workshop Metrology |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2002 |
Veranstaltung: | Workshop Metrology |
Veranstaltungsort: | Plzen, Czech Republic |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2002-10-20 |
Enddatum der Veranstaltung: | 2002-10-24 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |