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FIB-Ätzen und Ionen-Channeling - Der Materialabtrag hängt von der kristallographischen Orientierung ab

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Metadaten
Autor*innen:U. Wendt, Gert Nolze
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Deutsch
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):GIT : Labor-Fachzeitschrift
Jahr der Erstveröffentlichung:2007
Verlag:GIT-Verlag
Verlagsort:Darmstadt
Jahrgang/Band:51
Ausgabe/Heft:10
Erste Seite:848
Letzte Seite:851
Freie Schlagwörter:FIB; Ionenätzen; Kristall
ISSN:0016-3538
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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