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Kalibrierte Schichtdicken-Maßverkörperungen für Nanometerschichten, Teilvorhaben - Kalibrierung von Schichtdicken-Maßverkörperungen im Nanometerbereich - Abschlussbericht des BMBF Verbundvorhabens 13N7704 - 13N77041

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Autoren/innen:E. O. Göbel, K. Hasche, G. Ulm, M. Krumrey, G. Ade, J. Stümpel, K. Herrmann, L. Koenders, P. Thomsen-Schmidt, F. Pohlenz, M. Xu, G. Dai, K.-P. Hoffmann, I. Busch, W. Frank, M. Procop, Uwe Beck
Dokumenttyp:Forschungsbericht
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Deutsch
Jahr der Erstveröffentlichung:2003
Verlag:Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Verlagsort:Dresden
Erste Seite:1
Letzte Seite:131
Freie Schlagwörter:Nanometerbereich; Schichtdicke
URL:http://edok01.tib.uni-hannover.de/edoks/e01fb02/373214030.pdf
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein