MetadatenAutor*innen: | E. O. Göbel, K. Hasche, G. Ulm, M. Krumrey, G. Ade, J. Stümpel, K. Herrmann, L. Koenders, P. Thomsen-Schmidt, F. Pohlenz, M. Xu, G. Dai, K.-P. Hoffmann, I. Busch, W. Frank, M. Procop, Uwe Beck |
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Dokumenttyp: | Forschungsbericht |
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Veröffentlichungsform: | Graue Literatur |
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Sprache: | Deutsch |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2003 |
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Verlag: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
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Verlagsort: | Dresden |
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Erste Seite: | 1 |
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Letzte Seite: | 131 |
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Freie Schlagwörter: | Nanometerbereich; Schichtdicke |
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URL: | http://edok01.tib.uni-hannover.de/edoks/e01fb02/373214030.pdf |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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