Thin film porosity determined by X-rays at SEM
- Various applications such as automotive catalysts, photocatalysis and sensors rely on thin coatings with high active surface area. The development of new and improved coatings requires in-depth understanding of the film morphology and texture. Especially the film porosity is a key parameter to identify structure-property relationships in applications. However, an accurate porosity determination of thin porous coatings is a challenging. In this contribution we present and discuss a new approach for determining the porosity of films by x-rays at SEM.
Autor*innen: | Erik Ortel, R. Kraehnert, F. Galbert, Vasile-Dan HodoroabaORCiD |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
Sprache: | Englisch |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Microscopy and microanalysis |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2015 |
Herausgeber (Institution): | Microscopy Society of America |
Verlag: | Cambridge University Press |
Verlagsort: | New York, NY |
Jahrgang/Band: | 21 |
Ausgabe/Heft: | Suppl. 3 |
Erste Seite: | Paper 0852, 1707 |
Letzte Seite: | 1708 |
Freie Schlagwörter: | EDX; Porosity; SEM; Stratagem; Thin film; WDX |
DOI: | 10.1017/S1431927615009319 |
ISSN: | 1431-9276 |
ISSN: | 1435-8115 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
Datum der Freischaltung: | 20.02.2016 |
Referierte Publikation: | Ja |
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 17.09.2015 |