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Surface cleaning by plasma-enhanced desorption of contaminants

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Autor*innen:P. Krüger, R. Knes, Jörg Florian Friedrich
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Surface and coatings technology
Jahr der Erstveröffentlichung:1999
Verlag:Elsevier Science
Verlagsort:Lausanne
Jahrgang/Band:112
Erste Seite:240
Letzte Seite:244
ISSN:0257-8972
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:24.02.2005
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