MetadatenAutor*innen: | Jörg KrügerORCiD, Wolfgang Kautek, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, F. Krausz |
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Persönliche Herausgeber*innen: | J. Dubowski |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing II |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 1997 |
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Verlag: | SPIE |
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Verlagsort: | Bellingham, Wash. |
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Ausgabe/Heft: | 2991 |
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Erste Seite: | 40 |
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Letzte Seite: | 47 |
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Freie Schlagwörter: | Ablation; Femtosecond pulse laser; Glass; Laser processing; Micromachining; Silica; Steel; Structuring |
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Veranstaltung: | Conference |
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Veranstaltungsort: | San José, CA, USA |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 1997-02-10 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 1997-02-12 |
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DOI: | 10.1117/12.273740 |
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ISSN: | 1605-7422 |
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ISBN: | 0-8194-2402-1 |
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Bemerkung: | Serientitel: SPIE proceedings series – Series title: SPIE proceedings series |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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