MetadatenAutor*innen: | Wolfgang Kautek, Jörg KrügerORCiD |
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Persönliche Herausgeber*innen: | M. Brieger |
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Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Sammelband |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Semiconductor processing and characterization with lasers |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 1995 |
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Verlag: | Trans Tech Publ. |
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Verlagsort: | Aedermannsdorf |
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Ausgabe/Heft: | 173/174 |
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Erste Seite: | 17 |
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Letzte Seite: | 22 |
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Freie Schlagwörter: | Dry Etching; Femtosecond-Pulse Laser; Laser-Ablation; Microstructuring; Multi-Photon Absorption; Semiconductors; Silicon; Subpicosecond-Pulse Laser |
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Veranstaltung: | 1st International Symposium on Semiconductor Processing and Characterization with Lasers - Applications in Photovoltaics |
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Veranstaltungsort: | Stuttgart, Germany |
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Beginndatum der Veranstaltung: | 1994-04-18 |
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Enddatum der Veranstaltung: | 1994-04-20 |
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ISSN: | 0255-5476 |
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ISBN: | 0-87849-683-1 |
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Bemerkung: | Serientitel: Materials science forum – Series title: Materials science forum |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Nein |
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