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Femtosecond-pulse laser microstructuring of semiconducting materials

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Autor*innen:Wolfgang Kautek, Jörg KrügerORCiD
Persönliche Herausgeber*innen:M. Brieger
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Sammelband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Semiconductor processing and characterization with lasers
Jahr der Erstveröffentlichung:1995
Verlag:Trans Tech Publ.
Verlagsort:Aedermannsdorf
Ausgabe/Heft:173/174
Erste Seite:17
Letzte Seite:22
Freie Schlagwörter:Dry Etching; Femtosecond-Pulse Laser; Laser-Ablation; Microstructuring; Multi-Photon Absorption; Semiconductors; Silicon; Subpicosecond-Pulse Laser
Veranstaltung:1st International Symposium on Semiconductor Processing and Characterization with Lasers - Applications in Photovoltaics
Veranstaltungsort:Stuttgart, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:1994-04-18
Enddatum der Veranstaltung:1994-04-20
ISSN:0255-5476
ISBN:0-87849-683-1
Bemerkung:
Serientitel: Materials science forum – Series title: Materials science forum
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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