Investigation of excimer laser ablation threshold of polymers using a microphone
- KrF excimer laser ablation of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI) and polycarbonate (PC) in air was studied by an in situ monitoring technique using a microphone. The microphone signal generated by a short acoustic pulse represented the etch rate of laser ablation depending on the laser fluence, i.e., the ablation strength. From a linear relationship between the microphone output voltage and the laser fluence, the single-pulse ablation thresholds were found to be 30 mJ cm-2 for PET, 37 mJ cm-2 for PI and 51 mJ cm-2 for PC (20-pulses threshold). The ablation thresholds of PET and PI were not influenced by the number of pulses per spot, while PC showed an incubation phenomenon. A microphone technique provides a simple method to determine the excimer laser ablation threshold of polymer films.
MetadatenAutor*innen: | Jörg KrügerORCiD, Hiroyuki Niino, A. Yabe |
---|
Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
---|
Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
---|
Sprache: | Englisch |
---|
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Applied surface science |
---|
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2002 |
---|
Verlag: | North-Holland |
---|
Verlagsort: | Amsterdam |
---|
Jahrgang/Band: | 197-198 |
---|
Erste Seite: | 800 |
---|
Letzte Seite: | 804 |
---|
Freie Schlagwörter: | Acoustic measurement; Incubation; Laser ablation; Microphone; Polymer; Treshold |
---|
DOI: | 10.1016/S0169-4332(02)00418-X |
---|
ISSN: | 0169-4332 |
---|
ISSN: | 1873-5584 |
---|
Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
---|
Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
---|
Bibliotheksstandort: | ZA 83 |
---|
Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
---|
Referierte Publikation: | Ja |
---|
Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 10.12.2002 |
---|