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Femtosecond-pulse laser processing of metallic and semiconducting thin films

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Autor*innen:Jörg KrügerORCiD, Wolfgang Kautek
Persönliche Herausgeber*innen:J. Dubowski
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Sammelband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Laser-induced thin film processing
Jahr der Erstveröffentlichung:1995
Herausgeber (Institution):Society of Photo-Optical Engineers (SPIE)
Verlag:SPIE
Verlagsort:Bellingham, Wash.
Ausgabe/Heft:2403
Erste Seite:436
Letzte Seite:447
Freie Schlagwörter:Ablation; Dünnschicht, halbleitend; Dünnschicht, metallisch; Femtosekundenpulslaser; Pulslaser
ISSN:1605-7422
ISBN:0-8194-1750-5
Bemerkung:
Serientitel: SPIE proceedings series – Series title: SPIE proceedings series
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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