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Energy dispersive electron probe microanalysis (ED-EPMA) of elemental composition and thickness of Fe-Ni alloy films

  • The elemental composition of thin Fe-Ni alloy films deposited on silicon substrates were determined by electron probe microanalysis with an energy dispersive spectrometer using the STRATAGem software. The work was part of ample inter-laboratory comparisons organized in the frame of CCQM/SAWG (Consultative Committee for Amount of Substance/Surface Analysis Working Group). Therefore, the evaluation of the measurement uncertainties is treated in detail. By having the mass coverage and estimating a layer density, the layer thickness could be derived.

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Autor*innen:Vasile-Dan HodoroabaORCiD, K.J. Kim, Wolfgang UngerORCiD
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Surface and interface analysis
Jahr der Erstveröffentlichung:2012
Verlag:Wiley
Verlagsort:Chichester
Jahrgang/Band:44
Ausgabe/Heft:11-12
Erste Seite:1459
Letzte Seite:1461
Freie Schlagwörter:CCQM; Elemental composition; Energy dispersive electron probe microanalysis (ED-EPMA); Fe-Ni; Mass coverage; STRATAGem; Thickness; Thin films; k-values
DOI:10.1002/sia.4975
ISSN:0142-2421
ISSN:1096-9918
Verfügbarkeit des Dokuments:Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access")
Bibliotheksstandort:Sonderstandort: Publica-Schrank
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:26.11.2012
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