Energy dispersive electron probe microanalysis (ED-EPMA) of elemental composition and thickness of Fe-Ni alloy films
- The elemental composition of thin Fe-Ni alloy films deposited on silicon substrates were determined by electron probe microanalysis with an energy dispersive spectrometer using the STRATAGem software. The work was part of ample inter-laboratory comparisons organized in the frame of CCQM/SAWG (Consultative Committee for Amount of Substance/Surface Analysis Working Group). Therefore, the evaluation of the measurement uncertainties is treated in detail. By having the mass coverage and estimating a layer density, the layer thickness could be derived.
MetadatenAutor*innen: | Vasile-Dan HodoroabaORCiD, K.J. Kim, Wolfgang UngerORCiD |
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Dokumenttyp: | Zeitschriftenartikel |
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Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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Sprache: | Englisch |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Surface and interface analysis |
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Jahr der Erstveröffentlichung: | 2012 |
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Verlag: | Wiley |
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Verlagsort: | Chichester |
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Jahrgang/Band: | 44 |
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Ausgabe/Heft: | 11-12 |
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Erste Seite: | 1459 |
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Letzte Seite: | 1461 |
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Freie Schlagwörter: | CCQM; Elemental composition; Energy dispersive electron probe microanalysis (ED-EPMA); Fe-Ni; Mass coverage; STRATAGem; Thickness; Thin films; k-values |
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DOI: | 10.1002/sia.4975 |
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ISSN: | 0142-2421 |
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ISSN: | 1096-9918 |
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Verfügbarkeit des Dokuments: | Physisches Exemplar in der Bibliothek der BAM vorhanden ("Hardcopy Access") |
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Bibliotheksstandort: | Sonderstandort: Publica-Schrank |
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Datum der Freischaltung: | 19.02.2016 |
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Referierte Publikation: | Ja |
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Datum der Eintragung als referierte Publikation: | 26.11.2012 |
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