Diffraction-assisted micropatterning of silicon by ns-laser irradiation
Autor*innen: | E. Haro-Poniatowski |
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Koautor*innen: | Jörn Bonse, G. Mecalco, C. Acosta-Zepeda, J. L. Hernandez-Pozos, Nikola Batina, I. Morales-Reyes |
Dokumenttyp: | Vortrag |
Veröffentlichungsform: | Präsentation |
Sprache: | Deutsch |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Conference on Lasers and Electro-Optics CLEO 2014 |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2014 |
Veranstaltung: | Conference on Lasers and Electro-Optics CLEO 2014 |
Veranstaltungsort: | San José, CA, USA |
Beginndatum der Veranstaltung: | 2014-06-08 |
Enddatum der Veranstaltung: | 2014-06-13 |
Verfügbarkeit des Dokuments: | Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access") |
Datum der Freischaltung: | 20.02.2016 |
Referierte Publikation: | Nein |
Eingeladener Vortrag: | Nein |