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Standards for composition-depth profiles of TiN, Ti(C, N) and (Ti, Al)N with different chemical composition

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Metadaten
Autor*innen:H.-R. Stock, A. Schulz, M. Kopnarski, Thomas Gross
Persönliche Herausgeber*innen:A. Ricard
Dokumenttyp:Beitrag zu einem Tagungsband
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Papers presented at the Fifth International Conference on Plasma Surface Engineering (Surface & coatings technology 97.1997,1/3)
Jahr der Erstveröffentlichung:1996
Herausgeber (Institution):Joint European Committee of Plasma and Ion Surface Engineering
Verlag:Elsevier
Verlagsort:Amsterdam
Jahrgang/Band:97
Ausgabe/Heft:1-3
Erste Seite:181
Freie Schlagwörter:Beschichtung; Plasma
Veranstaltung:5th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE)
Veranstaltungsort:Garmisch-Patenkirchen, Germany
Beginndatum der Veranstaltung:1996-09-09
Enddatum der Veranstaltung:1996-09-13
ISSN:0257-8972
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Nein
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